Модернизация России
Пятница, 22.09.2017, 05:27



Вы вошли как Гость | Группа "Гости"Приветствую Вас Гость | RSS
[ Главная ] [ ] [ Мой профиль ] [ Регистрация ] [ Выход ] [ Вход ]

Меню

Новости по теме
Электроника [90]Связь [20]
Машиностроение, судостроение [358]Сельское хозяйство [176]
Металлургия [117]Военно-промышленных комплекс [224]
Финансы [96]Информационные технологии [67]
Законодательство [31]Химия [107]
Медицина и здравоохранение [140]Нанотехнологии [134]
Транспорт [185]Добыча ресурсов [53]
Энергетика [167]Строительство и стройматериалы [175]
Авиапром и космос [195]Безопасность и охрана природы [39]
Легкая промышленность [100]Наука [37]
Антикоррупция [33]Эксклюзив [21]

Форма входа

В закладку

Календарь записей
«  Август 2012  »
ПнВтСрЧтПтСбВс
  12345
6789101112
13141516171819
20212223242526
2728293031

Облако
Легкая промышленность Экономический рост Росатом ржд впк технопарки Сколково связь электроника модернизация металлургия строительство Судостроение Роснано светодиоды Оптоган КАЛУГА потребительские товары удобрения политика Медицина ГЛОНАСС энергетика нанотехнологии супер-эвм нефтепереработка транспорт промышленность авиапром Спутники http://www.warandpeace.ru/ru/news/v инвестиции технологии туризм финансы Космос химия камаз Усть-Луга наука эксклюзив машиностроение антикоррупция Сочи законодательство авипром СуперЭВМ СперЭВМ мащиностроение спутник охрана природы технопарк судостроеие нефтедобыча сельское хозяйство добыча ресурсов станки Нефтехимия потебительские товары образование Дороги электроники станкостроение автопром инфраструктура логистика торговля лекарства с/х мелаллургия

Реклама

Главная » 2012 » Август » 30 » РОСНАНО инвестирует в безмасочную литографию с разрешением до 10 нм
20:14
РОСНАНО инвестирует в безмасочную литографию с разрешением до 10 нм

РОСНАНО и MAPPER Lithography, голландская компания-разработчик систем безмасочной литографии, объявляют о начале инвестиций в производство инновационного литографического оборудования. Общая сумма сделки составляет €80 млн, доля РОСНАНО — €40 млн. Такую же сумму вкладывают акционеры MAPPER, — инвестиционные компании ADP Industries, Parcom Capital (Parc-IT) и Hoving & Partners, технологические компании Technolution и DEMCON, ряд частных инвесторов и семейных инвестиционных фондов, а также Агентство Нидерландов при министерстве экономики, сельского хозяйства и инноваций. Существенная часть инвестиций РОСНАНО будет направлена на создание в России производства ключевого компонента литографических систем MAPPER.

Компания MAPPER Lithography, основанная в Делфтском техническом университете, разрабатывает литографическое оборудование нового поколения на основе технологии множественных электронных лучей (multiple e-beam), позволяющей обойтись без дорогостоящих литографических масок. Технология MAPPER сочетает ранее практически недостижимую разрешающую способность (22 нм и выше) с высокой производительностью, позволяя обрабатывать до 100 кремниевых подложек в час.

Инвестиции позволят компании MAPPER выпустить несколько поколений оборудования Matrix. Модель Matrix 1.1, намеченная к выпуску в 2012 году, использует более 1300 электронных лучей и обрабатывает одну подложку в час. Модель Matrix 10.1, использующая 13 260 электронных лучей, обладает производительностью 10 подложек в час. Кластерная система Matrix 10.10, состоящая из десяти установок Matrix 10.1, способна обрабатывать 100 подложек в час, что соответствует требованиям массового производства микросхем. В рамках инвестиционного проекта производственные мощности MAPPER будут расширены до 20 литографических машин в год.

В России планируется создать предприятие по выпуску электронной оптики на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС) — ключевого компонента оборудования MAPPER. Производство требует использования уникальных технологий в области МЭМС. Мощность российского предприятия составит до 20 систем электронной оптики в год, каждая из которых способна управлять 13 260 параллельными электронными лучами. Проект ориентирован на сотрудничество с ведущими российскими профильными исследовательскими институтами.

«Поддержка, которую мы получили в этом раунде финансирования, отражает наши успехи в инновационной технологии электронно-лучевой литографии, которую мы развивали последние десять лет. Сегодня мы готовы представить наш продукт на рынок, и гордимся, что РОСНАНО решила поддержать этот масштабный проект», — отметил CEO и сооснователь компании MAPPER Берт Ян Камфербеек.

«Проект с MAPPER Lithography занимает особое место в портфеле РОСНАНО. Разработки компании находятся в самом начале цепочки создания стоимости в микроэлектронике. Мы уверены, что инвестиции в эту компанию укрепят синергию микроэлектронных проектов РОСНАНО», — подчеркнул управляющий директор РОСНАНО Дмитрий Лисенков.

Для продвижения безмасочной литографии на базе платформы MAPPER развернута международная производственно-исследовательская программа IMAGINE, которую координирует ведущий мировой институт по прикладным исследованиям в микроэлектронике CEA-Leti. Основными участниками являются крупные производители микроэлектроники — TSMC (Тайвань) и STMicroelectronics (Франция). В середине 2009 года в чистых комнатах CEA-Leti был установлен промышленный прототип установки MAPPER.

В начале 2012 года в рамках программы IMAGINE компания MAPPER достигла размерности элементов 22 нм, что соответствует следующим технологическим стандартам в микроэлектронике — 14 нм и 10 нм. В этом году CEA-Leti и MAPPER объявили о продлении программы IMAGINE на три года. В течение этого времени в CEA-Leti будет установлено опытное оборудование Matrix, на котором ведущие мировые производители микроэлектроники смогут опробовать безмасочную технологию в реальной производственной обстановке.

Категория: Нанотехнологии | Просмотров: 2479 | Добавил: MAX_9 | Теги: электроника | Рейтинг: 5.0/4
Всего комментариев: 0
Добавлять комментарии могут только зарегистрированные пользователи.
[ Регистрация | Вход ]
Copyright MAX_9 © 2010-2017